説明:
GCMICRは一種のマイクログリットグリーン炭化ケイ素マイクログリット砥粒であり、その材料であるSiCインゴットは、電気アーク炉でシリコンサンドと石油コークスを溶融することによって得られます。 慎重にインゴットの選択、粉砕、ふるい分け、水分類、酸洗浄、アルカリ洗浄、水水洗浄を行った後、GCMICRを取得しました。
アプリケーション:
GCMICRは、単結晶シリコンウェーハまたは多結晶シリコンウェーハのマルチライン切断に使用されます。
GCMICRは、炭化タングステン、高速度鋼、光学ガラス、セラミック、瑪瑙、その他の非金属などの硬くて脆い材料の処理にも適しています。
化学分析:
GCMIR |
SiC |
遊離炭素 |
Fe2O3 |
|||
約束値(最小) |
テスト値 |
約束値(最大) |
テスト値 |
約束値(最大) |
テスト値 |
|
F240-F1000 |
97.00 |
99.32 |
0.30 |
0.10 |
0.70 |
0.09 |
F1200 |
95.50 |
98.62 |
0.40 |
0.11 |
0.70 |
0.10 |
物理的特性:
色 | 緑 |
形状 | 角張った、エッジが鋭い |
結晶形 | 六角形システムのアルファ炭化ケイ素 |
比重 | 3.18 |
硬度 | 2750 kg / mm、9.15モース硬度 |
磁性材料 | 0.0065% |
利用可能なマイクログリットサイズ:
FEPA「F」230、240、280、320、360、400、500、600、800、1000、1200。
JIS 240、280、320、360、400、500、600、700、800、1000、1200、1500、2000、2500、3000、4000、6000、8000。
粒度分布
表1
グリットF230-F2000グリットサイズ分布(標準Werte der Mikro-F-Reihe) | ||||
グリット番号 |
ds0値最大、ミクロン |
ds3値最大、ミクロン |
ds50値、ミクロン |
ds94値最小、ミクロン |
F230 |
----- |
82.0 |
53.0±3.0 |
34.0 |
F240 |
----- |
70.0 |
44.5±2.0 |
28.0 |
F280 |
----- |
59.0 |
36.5±1.5 |
22.0 |
F320 |
----- |
49.0 |
29.2±1.5 |
16.5 |
F360 |
----- |
40.0 |
22.8±1.5 |
12.0 |
F400 |
----- |
32.0 |
17.3±1.0 |
8.0 |
F500 |
----- |
25.5 |
12.8±1.0 |
5.0 |
F600 |
----- |
19.0 |
9.3±1.0 |
3.0 |
F800 |
----- |
14.0 |
6.5±1.0 |
2.0 |
F1000 |
----- |
10.0 |
4.5±0.8 |
1.0 |
F1200 |
----- |
7.0 |
3.0±0.5 |
1.0(80%の場所) |
F1500 |
----- |
5.0 |
2.0±0.4 |
0.8(80%の場所) |
F2000 |
----- |
3.4 |
1.2±0.3 |
0.5(80%の場所) |
表2
グリットF230-F1200グリットサイズ分布(堆積管法) | ||||
グリット番号 |
ds0値最大、ミクロン |
ds3値最大、ミクロン |
ds50値、ミクロン |
ds95値最小、ミクロン |
F230 |
120 |
77.0 |
55.7±3.0 |
38.0 |
F240 |
105 |
68.0 |
47.5±2.0 |
32.0 |
F280 |
90 |
60.0 |
39.9±1.5 |
25.0 |
F320 |
75 |
52.0 |
32.8±1.5 |
19.0 |
F360 |
60 |
46.0 |
26.7±1.5 |
14.0 |
F400 |
50 |
39.0 |
21.4±1.0 |
10.0 |
F500 |
45 |
34.0 |
17.1±1.0 |
7.0 |
F600 |
40 |
30.0 |
13.7±1.0 |
4.6 |
F800 |
35 |
26.0 |
11.0±1.0 |
3.5 |
F1000 |
32 |
23.0 |
9.1±0.8 |
2.4 |
F1200 |
30 |
20.0 |
7.6±0.5 |
2.4(80%の場所) |
表3
グリット#240-#3000グリットサイズ分布(堆積チューブ法) | ||||
グリット番号 |
ds0値最大、ミクロン |
ds3値最大、ミクロン |
ds50値、ミクロン |
ds94値最小、ミクロン |
#240 |
127.0 |
90.0 |
60.0±4.0 |
48.0 |
#280 |
112.0 |
79.0 |
52.0±3.0 |
41.0 |
#320 |
98.0 |
71.0 |
46.0±2.5 |
35.0 |
#360 |
86.0 |
64.0 |
40.0±2.0 |
30.0 |
#400 |
75.0 |
56.0 |
34.0±2.0 |
25.0 |
#500 |
65.0 |
48.0 |
28.0±2.0 |
20.0 |
#600 |
57.0 |
43.0 |
24.0±1.5 |
17.0 |
#700 |
50.0 |
39.0 |
21.0±1.3 |
14.0 |
#800 |
46.0 |
35.0 |
18.0±1.0 |
12.0 |
#1000 |
42.0 |
32.0 |
15.5±1.0 |
9.5 |
#1200 |
39.0 |
28.0 |
13.0±1.0 |
7.8 |
#1500 |
36.0 |
24.0 |
10.5±1.0 |
6.0 |
#2000 |
33.0 |
21.0 |
8.5±0.7 |
4.7 |
#2500 |
30.0 |
18.0 |
7.0±0.7 |
3.6 |
#3000 |
28.0 |
16.0 |
5.7±0.7 |
2.8 |
表4
グリット#240〜#8000グリットサイズ分布(電気抵抗法) | ||||
グリット番号 |
ds0値最大、ミクロン |
ds3値最大、ミクロン |
ds50値、ミクロン |
ds94値最小、ミクロン |
#240 |
127.0 |
103.0 |
57.0±3.0 |
40.0 |
#280 |
112.0 |
87.0 |
48.0±3.0 |
33.0 |
#320 |
98.0 |
74.0 |
40.0±2.5 |
27.0 |
#360 |
86.0 |
66.0 |
35.0±2.0 |
23.0 |
#400 |
75.0 |
58.0 |
30.0±2.0 |
20.0 |
#500 |
63.0 |
50.0 |
25.0±2.0 |
16.0 |
#600 |
53.0 |
43.0 |
20.0±1.5 |
13.0 |
#700 |
45.0 |
37.0 |
17.0±1.3 |
11.0 |
#800 |
38.0 |
31.0 |
14.0±1.0 |
9.0 |
#1000 |
32.0 |
27.0 |
11.5±1.0 |
7.0 |
#1200 |
27.0 |
23.0 |
9.5±0.8 |
5.5 |
#1500 |
23.0 |
20.0 |
8.0±0.6 |
4.5 |
#2000 |
19.0 |
17.0 |
6.7±0.6 |
4.0 |
#2500 |
16.0 |
14.0 |
5.5±0.5 |
3.0 |
#3000 |
13.0 |
11.0 |
4.0±0.5 |
2.0 |
#4000 |
11.0 |
8.0 |
3.0±0.4 |
1.3 |
#6000 |
8.0 |
5.0 |
2.0±0.4 |
0.8 |
#8000 |
6.0 |
3.5 |
1.2±0.3 |
0.6(75%の場所) |
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